研發(fā)用等離子去膠機(jī)：Alpha等離子系統(tǒng)ASTRO96是一款低壓微波等離子系統(tǒng)，用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的*進(jìn)芯片封裝清洗，以及倒裝芯片清洗。ASTRO96是全自動(dòng)等離子系統(tǒng)，待處理的基片通過(guò)片匣緩存區(qū)載入，清洗完成后放回同一個(gè)片匣緩存區(qū)。

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更新時(shí)間：2025-09-17
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產(chǎn)品詳情

微波等離子清洗

研發(fā)用等離子去膠機(jī)概述：Astro96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)：Alpha等離子系統(tǒng)Astro96是一款低壓微波等離子系統(tǒng)，用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的*進(jìn)芯片封裝清洗，以及倒裝芯片清洗。Astro96是全自動(dòng)等離子系統(tǒng)，待處理的基片通過(guò)magzine Buffer載入，清洗完成后放回同一個(gè)Magzine Buffer。

研發(fā)用等離子去膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

腔體:鋁
容積:16.6公升
尺寸:寬度330毫米×深度420毫米x120毫米
腔室門:腔體下開門結(jié)構(gòu)
微波源：2.45GHz，可調(diào)50-600W
氣體進(jìn)氣:3路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制，氣體分布系統(tǒng)位于工藝腔體內(nèi)部
觀察視窗：52.5mm玻璃，防紫外和RF
真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
真空系統(tǒng)：DN 40 ISO-KF
真空閥：電動(dòng)氣動(dòng)閥
設(shè)備尺寸：1635毫米x1405毫米x2265毫米

片匣導(dǎo)軌傳送系統(tǒng)：

全自動(dòng)，無(wú)堵賽設(shè)計(jì)，集成到等離子主系統(tǒng)
片匣通過(guò)2層傳送帶上下載片，提前上載或下載片
通過(guò)使用可更換的輸送板，搬運(yùn)系統(tǒng)可以支持較大范圍的基片尺寸、框架、舟等
片匣尺寸：z大124mm寬，60-200mm高，110-320mm長(zhǎng)，配套片匣傳感器來(lái)識(shí)別
框架進(jìn)/出：框架在同一個(gè)片匣和同一個(gè)槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出（標(biāo)準(zhǔn)配置）
框架進(jìn)/出：框架在不同的片匣和相同/不同的槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出（可選）
堵塞檢測(cè)系統(tǒng)帶有可調(diào)節(jié)的推/拉力控制，并通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)具體的堵塞水平控制，以避免框架損壞
支持手動(dòng)模式，單次工序
UPH（框架/小時(shí)）：360~900，取決于框架尺寸和等離子工藝